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CIM-PC 制程装备生产自动化

CIM PC Control System(CPC)为治理简单台或联机(Cluster)的制程装备,为客户特定的生产作业与需求,依制程装备的特征,建设自动化的控制系统,并俱信息交流接口与上位系统(MES)举行生产信息的交流作业,使生产作业得以自动化, 也称EAP。

基本的系统架构与组成,包括有制程 ?椤⑽锪习嵩四 ?椤⒃鼐吣 ?榧癈PC等单位。其架构及功效特征与BC大多相同,而最大的差别为控制的制程装备 ?槭拷仙偌翱商峁┙隙嘌目椭苹π。

系统面
  • 系统切合SEMI E30、E32、E38的规范要求。
  • 上位系统接口:可与任何MES介接,接口支持IBM MQ、Tibco RV、HSMS…等多种通讯接口,举行上下游数据的交流整合。
  • 可毗连多种数据库如Oracle、DB2、SQL Server等。

功效面
  • 将上位系统的生产信息下达给制程装备,使其依下令举行生产作业。
  • 生产Recipe 的治理,如对Recipe Body检查,与变换回报数据…等。
  • 生产作业的信息与条件实时搜集并回报上位系统。
  • 装备端的接口讯号转变纪录,具备系统历史状态回溯盘问功效,以相识某一时间点内作爆发的问题及相关的缘故原由判断,藉以改善职员作业模式及处置惩罚流程的改善依据。
  • WIP的数据治理与回报
  • 载具数据的治理、维护与纪录。
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